场效应晶体管(FET)生物传感器 2010

All-(111) surface silicon nanowires: selective functionalization for biosensing applications.

ACS applied materials & interfaces Masood MN, Chen S, Carlen ET, van den Berg A
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组成图示

All-(111) surface silicon nanowires: ... 传感器构成示意图

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传感器类型

场效应晶体管(FET)生物传感器

检测对象

链霉亲和素(streptavidin,以巯基化金纳米颗粒标记)/生物素化分析物(biotinylated analyte);样品基质:Tris/NaCl缓冲液(HRSEM标记)或10 mM UBM缓冲液(pH 2.8,电学测量)

检测原理

传感器为耗尽型p型Si-NW场效应器件。全(111) Si-NW表面经HF/NH4F处理形成H-Si,再经UV引发氢硅化形成C-Si烷基或胺端烯基单分子层;脱保护暴露NH2后偶联生物素。当溶液中的链霉亲和素或生物素化分析物与表面生物素结合时,带电生物分子在界面引入表面电荷密度变化,改变Si-NW表面电位。该表面电位通过薄C-Si单分子层(约3 nm)调制耗尽区宽度和导电截面积,从而改变漏源电导Gc=∂Ids/∂Vds。前栅/背栅电压和Ag/AgCl参比电极设定工作点,锁相放大器读出电导变化。相比SiO2钝化,C-Si界面降低固定电荷和界面陷阱,提高灵敏度;选择性功能化减少非传感区配体,提高特异性。

检测灵敏度

原文未报告LOD、线性范围、R^2;报告检测灵敏度:ΔG/G0 ≈ 0.32(烯基单分子层钝化Si-NW,h = 100 nm),氧化Si-NW为0.04,约10×提高;跨导:g ≈ 63 pA mV^-1(烯基单分子层)对比36 pA mV^-1(10 nm SiO2钝化)。

效应效果

原文未报告RSD、稳定性、实际样品回收率及与ELISA/HPLC/qPCR的定量对比。选择性功能化由接触角、XPS和HRSEM验证:C18烷基单分子层接触角109°,表明有序单分子层;XPS显示表面清洁、氧化降低,脱保护后出现NH2/NH3+;HRSEM显示5 nm巯基化金纳米颗粒仅结合到生物素化全(111) Si-NW表面。电学上,烯基单分子层钝化Si-NW跨导约63 pA mV^-1,高于10 nm SiO2钝化的36 pA mV^-1;检测灵敏度ΔG/G0约0.32,较氧化Si-NW的0.04提高约10倍。作者认为该平台可消除非传感区配体偶联、降低固定SiO2电荷和界面陷阱,提高选择性与灵敏度。

传感器的构成

  • 基底/换能器:SOI硅基底上的p型全(111)表面三角形硅纳米线(Si-NW),作为耗尽型场效应通道,源漏电流随表面电位变化。
  • 钝化/修饰层:C-Si烷基单分子层(C18,由1-octadecene形成)和/或胺端烯基单分子层(由n-(5-hexynyl)phthalimide形成并脱保护),厚度约3 nm,相对介电常数约2,用于界面钝化与选择性功能化。
  • 识别元件:生物素(biotin,activated biotin NHS ester)偶联到胺端单分子层,作为高亲和力配体结合链霉亲和素或生物素化分析物。
  • 信号标记物:5 nm巯基化金纳米颗粒(thiolated Au nanoparticles)偶联链霉亲和素(streptavidin),用于HRSEM可视化验证选择性结合。
  • 读出电极:Ag/AgCl参比电极(REF200)作为前栅,配合背栅电压设置工作点;锁相放大器测量漏源电流/电导,阻抗分析仪测量CV。
  • 封装层:聚酰亚胺(polyimide,2 µm)和环氧树脂(epoxy)封装保护Si-NW器件与金属键线。

中文摘要

本文报道了一种基于全(111)表面硅纳米线(Si-NW)场效应生物传感器的选择性功能化策略。作者将碳-硅(C-Si)烷基和烯基单分子层共价连接到Si-NW表面,并利用单分子层末端的胺基偶联生物素N-羟基琥珀酰亚胺酯(biotin NHS ester)。通过接触角、X射线光电子能谱(XPS)以及高分辨扫描电镜(HRSEM)验证了选择性功能化:5 nm巯基化金纳米颗粒经链霉亲和素偶联后,仅结合到生物素化的全(111) Si-NW表面。单分子层钝化Si-NW的电学测量表明器件行为与性能得到改善。此外,作者建立了耗尽型三角形截面Si-NW的分析模型,证明与常规纳米线几何结构和二氧化硅钝化层相比,烷基/烯基钝化全(111) Si-NW生物传感器具有更高检测灵敏度,并给出界面设计与电偏置指南。

英文摘要

We demonstrate the utilization of selective functionalization of carbon-silicon (C-Si) alkyl and alkenyl monolayers covalently linked to all-(111) surface silicon nanowire (Si-NW) biosensors. Terminal amine groups on the functional monolayer surfaces were used for conjugation of biotin n-hydroxysuccinimide ester. The selective functionalization is demonstrated by contact angle, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and high-resolution scanning electron microscopy (HRSEM) of 5 nm diameter thiolated Au nanoparticles linked with streptavidin and conjugated to the biotinylated all-(111) surface Si-NWs. Electrical measurements of monolayer passivated Si-NWs show improved device behavior and performance. Furthermore, an analytical model is presented to demonstrate the improvement in detection sensitivity of the alkyl and alkenyl passivated all-(111) Si-NW biosensors compared to conventional nanowire biosensor geometries and silicon dioxide passivation layers as well as interface design and electrical biasing guidelines for depletion-mode sensors.