Single cell detection using 3D magnetic rolled-up structures.
本文提出一种由二氧化硅（SiO2）层和鱼骨状磁性薄膜构成的三维卷曲结构生物传感器，用于单细胞检测。该传感器以硅（Si）为基底，在 100 nm SiO2 上制备 10 nm 铬（Cr）粘附层、90 nm 镍铁（Ni80Fe20）鱼骨状磁性薄膜和 10 nm Cr 盖层，并通过刻蚀释放形成直径约 25 μm 的三维环状结构。磁阻（MR...
本文提出一种由二氧化硅（SiO2）层和鱼骨状磁性薄膜构成的三维卷曲结构生物传感器，用于单细胞检测。该传感器以硅（Si）为基底，在 100 nm SiO2 上制备 10 nm 铬（Cr）粘附层、90 nm 镍铁（Ni80Fe20）鱼骨状磁性薄膜和 10 nm Cr 盖层，并通过刻蚀释放形成直径约 25 μm 的三维环状结构。磁阻（MR...