Eight-channel SiNx microring-resonator based photonic biosensor for label-free fluid analysis in the optical C-band.

本文报道一种用于生物医学分析的芯片级多通道传感平台，基于光学氮化硅（SiNx）微环谐振器（MRR）。该光子集成芯片工作在约1550 nm 的 C 波段，采用 CMOS 兼容工艺制造，包含低限制波导、光栅耦合器、多模干涉耦合器和八个 MRR 传感通道，并配备可更换微流控腔以控制样品流动。作者通过氧等离子体、氨基硅烷和戊二醛对 MRR ...