Direct growth of few-layer graphene on AlN-based resonators for high-sensitivity gravimetric biosensors.

本文报道了在氮化铝（AlN）基固体封装谐振器（SMR）上利用镍（Ni）催化、低温化学气相沉积（CVD）直接生长少层石墨烯，并实现抗体生物功能化。SMR制备于全绝缘AlN/SiO2声学镜上，可承受CVD生长温度（最高650 °C）。活性AlN膜故意使c轴倾斜，以激发剪切模态，在液相中表现出优异性能，机电耦合系数和品质因数分别约为3%和...