Laser Micromachining of Lithium Niobate-Based Resonant Sensors towards Medical Devices Applications.

本文提出一种面向医疗设备应用的铌酸锂（LiNbO3）谐振传感器快速原型化激光微加工方法。作者采用飞秒激光微加工制备铌酸锂圆形膜片谐振器样品，并利用扫描电子显微镜对加工表面进行定性观察，采用光学表面轮廓仪定量表征表面粗糙度，最终获得约0.526 µm的表面粗糙度。随后，在不同工作环境和不同振动模态下测试了激光微加工谐振传感器的性能。实...