Atomic layer deposition for biosensing applications.
原子层沉积（ALD）是一种用于微电子纳米制造过程的薄膜沉积技术。其能够用多种材料包覆高深宽比结构，并具有优异保形性和精确厚度控制，因此成为包括生物传感器在内的多种器件制备的关键工具。本迷你综述总结了 ALD 制备生物传感器器件的不同方式，介绍了通过 ALD 沉积的材料、所制备 ALD 层的用途以及所构建的不同类型生物传感器。文章选取...
Alkali-resistant low-temperature atomic-layer-deposited oxides for optical fiber sensor overlays.
本文研究低温（100 °C）原子层沉积（ALD）制备的氧化铪（HfOx，y/x≈2.70）、氧化钽（TaOx，y/x≈2.75）和氧化锆（ZrOx，y/x≈2.07）作为抗碱光纤传感器覆盖层的性能。分别采用四乙基甲基氨基铪、五氯化钽和四乙基甲基氨基锆与去离子水，在平面 Si(100) 和玻璃衬底上沉积。ALD 每循环生长量（GPC）...