Passivated Porous Silicon Membranes and Their Application to Optical Biosensing.

Micromachines 2021 Whyte Ferreira C, Vercauteren R, Francis LA

本文报道了一种利用标准微加工技术制备稳定介孔硅膜的稳健方法。多孔硅膜通过原子层沉积（ALD）分别以氧化铝（Al2O3）、氧化铪（HfO2）和氧化钛（TiO2）进行钝化，以解决新鲜刻蚀多孔硅在水相中易氧化、溶解的问题。作者对所得膜进行了形貌、光学性质和化学性质表征，并开展了稳定性测试与光学探测噪声水平测定。初步生物传感应用采用 Al2...

其他 多孔硅原子层沉积钝化光学生物传感器

Plasmonic Split-Trench Resonator for Trapping and Sensing.

ACS nano 2021 Yoo D, Barik A, de León-Pérez F, Mohr DA 等 7 人

芯片级集成等离子体光学与电子学可促进生物传感、信号处理和光电子应用，关键需求是芯片级制造方法。本文报道一种分槽谐振器平台，将高品质因子谐振等离子体生物传感器与射频纳米间隙镊子相结合。该分槽谐振器可同时作为介电泳陷阱和纳米等离子体传感器：在10 nm间隙上施加射频偏压，可吸引或排斥分析物；被捕获的分析物通过折射率传感实现无标记检测，其...

表面等离子共振(SPR)生物传感器 等离子体生物传感器分槽谐振器介电泳捕获Fano共振