Lift-Off Free Fabrication Approach for Periodic Structures with Tunable Nano Gaps for Interdigitated Electrode Arrays.

本文报道了一种简单、低成本且无需剥离工艺制备具有可调纳米间隙的叉指电极阵列（IDA）的方法。该方法由初始结构及两步沉积组成：先通过光刻或其他微纳结构技术形成初始叉指图形，再溅射二氧化硅介电层形成倒扣轮廓，最后蒸发金形成电极。电极间隙主要由溅射介电层厚度控制，可在不改变掩模的情况下调节至纳米尺度，适用于硅、Pyrex 或聚合物基底。作...