Machine-Learning-Assisted Buried-Window FET Sensors for High-Reliability and High-Sensitivity Applications.

本文提出一种用于高灵敏度无标记生物传感的新型双埋窗无结场效应晶体管（DBW-FET）。该器件在埋氧层（BOX）中的活性通道下方集成一个 N 型和一个 P 型埋窗，并在栅区设置两个纳米腔作为生物分子识别位点。双埋窗形成两个耗尽区，可增强栅极对通道的静电耦合、抑制短沟道效应并提高生物分子结合引起的电学响应。作者采用 Silvaco TC...