A Novel Dielectric Modulated Gate-Stack Double-Gate Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor-Based Sensor for Detecting Biomolecules.

本文研究了带栅堆叠（GS）与不带栅堆叠的 n 型无结（JL）双栅（DG）MOSFET 生物传感器性能，采用介电调制（DM）方法检测纳米间隙腔内的中性与带电生物分子。通过 Silvaco ATLAS 器件模拟器对两种结构进行电学验证，并比较其阈值电压、开/关电流比、噪声及模拟/射频参数。结果显示，GSDG-MOSFET 生物传感器阈值...