Tunable optical filters with wide wavelength range based on porous multilayers.
本文提出一种基于多孔硅光子晶体的微机械可调谐光学滤波器（TOF）新概念。该器件利用多孔硅一维光子晶体作为布拉格反射器或渐变折射率滤光片，通过快速机械倾斜和可逆孔填充实现工作波长约±20%的调谐，频率可达千赫兹。倾斜使共振峰蓝移，孔填充液体或气体使有效折射率增加而红移，二者结合可将调谐范围扩大到200 nm以上，或用于工作波长精细调节...