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Design optimization of structural parameters for highly sensitive photonic crystal label-free biosensors.

Sensors (Basel, Switzerland) 2013 Ju J, Han YA, Kim SM

本文通过模拟纳米复制光子晶体(PC)无标记生物传感器的反射光谱,考察结构参数对性能的影响。研究选取光栅周期、占空比、缩放光栅高度和TiO2层厚度作为设计因素,以峰值波长(PWV)、半峰全宽(FWHM)、体/表面灵敏度品质因数(FOM)及表面/体灵敏度比(S/B)为响应指标。参数分析表明,光栅周期对PWV起主导作用,且与其他缩放设计因...

Porous silicon optical microcavity biosensor on silicon-on-insulator wafer for sensitive DNA detection.

Biosensors & bioelectronics 2013 Zhang H, Jia Z, Lv X, Zhou J 等 7 人

绝缘体上硅(SOI)晶圆是光学集成电路最具吸引力的平台之一,有望实现高性能超大规模集成(ULSI)和器件微型化。本研究基于对多孔硅微腔(PSM)光学特性的仿真,通过电化学刻蚀在 SOI 晶圆上成功制备了用于 1555.0 nm 光波长 DNA 检测的高效 PSM。反射光谱中半高宽约 26.0 nm 的窄谐振峰赋予器件高 Q 因子,从...