Large current difference in Au-coated vertical silicon nanowire electrode array with functionalization of peptides.

本研究结合自下而上与自上而下工艺，利用化学气相沉积和互补金属氧化物半导体（CMOS）流程制备金包覆垂直硅纳米线电极阵列（Au-coated VSNEA），用于生物分子传感。首先通过气-液-固（VLS）法在硅衬底上生长垂直单晶硅纳米线，再经 CMOS 工艺包覆金电极并选择性刻蚀二氧化硅钝化层，暴露纳米线顶端金尖端。为验证其生物分子检测...