Microfluidics for High Pressure: Integration on GaAs Acoustic Biosensors with a Leakage-Free PDMS Based on Bonding Technology.

微流控与声学生物传感器的集成是微系统领域的重要发展方向，但聚合物微流控芯片与单晶压电材料之间的可靠密封仍是关键难题。本文针对砷化镓（GaAs）声学生物传感器的微流控集成问题，提出一种等离子辅助低温键合技术，将聚二甲基硅氧烷（PDMS）微流控芯片与 GaAs/SiO2 表面在 70 °C 下实现牢固连接。作者采用 RF 反应磁控溅射在...