Viscosity-density sensor with resonant torsional paddle for direct detection in liquid.

本文提出一种基于共振扭转桨的微加工生物传感器，采用电磁激励与检测，可直接在液体中工作。该传感器由两个具有扭转共振模式的桨组成，振动过程中能量损耗较低，因而适合液体环境检测。作者通过有限元方法分析并优化结构参数，以保证传感器灵敏度；采用MEMS体硅工艺完成制备。针对液体中强阻尼导致性能下降的问题，设计了带能量补偿的正反馈电路，以改善传...