Superior Sensitivity of Copper-Based Plasmonic Biosensors.

等离子体生物传感已被证明是定量测定分子分析物和分析生化反应动力学的有力技术。然而，大多数等离子体生物传感器界面由金、银等贵金属制成，与工业生产不兼容，限制了其在生物化学和药物研究以外的应用。本文提出并研究了一种完全采用标准互补金属-氧化物-半导体（CMOS）工艺制造的铜基生物传感器芯片。通过在铜膜表面沉积二氧化硅（SiO2）和氧化铝...