Influence of stress in ZnO thin films on its biosensing application.

本研究通过射频磁控溅射在不同气氛（氧气与氩气反应性气体混合物）下沉积高度c轴取向氧化锌（ZnO）薄膜，并研究其生物传感应用。生长态ZnO薄膜均处于压应力状态，且应力随溅射气氛中氧含量变化而改变。研究选用葡萄糖氧化酶（GOx）作为模型酶，考察ZnO薄膜基体对葡萄糖电化学检测的响应特性。结果表明，薄膜生长过程中引入的本征应力与其生物传感...