Silicon field effect transistors as dual-use sensor-heater hybrids.

本文展示了一种双功能硅场效应晶体管（FET）传感器-加热器的温度介导应用，并对先前提出的局部介电加热方法在器件表面的工作机制进行建模与表征。首先证明该 FET 可作为电传感器，通过离子液体中 pH 变化引起表面电荷改变而响应；随后通过实验加热剖面与仿真对比，证明同一器件可作为高度局域化的加热器。研究进一步阐明了加热机制并确定了该技术...