Miniaturized metal semiconductor metal photocurrent system for biomolecular sensing via chemiluminescence.

本文报道了一种基于微型金属-半导体-金属（MSM）光电探测器的化学发光生物传感器，用于实时检测生物分子。该传感器采用半导体制造工艺，在100 μm×100 μm活性区制备了83条250 nm金属线、278 nm间距的叉指结构，并以90 nm二氧化硅钝化层隔离液相。器件在0.4 V偏压下工作，在1.46 mW/cm2光照下信噪比达36...