A monolithically integrated microcantilever biosensor based on partially depleted SOI CMOS technology.

Microsystems & nanoengineering 2023 Liu Y, Tian Y, Lin C, Miao J 等 5 人

本文报道了一种基于部分耗尽SOI CMOS工艺的单片集成微悬臂梁适配体传感器，由压阻微悬臂梁阵列和片上信号处理电路组成。12根嵌入压阻器的微悬臂梁构成3个惠斯通电桥传感器；片上电路包括多路复用器、斩波仪表放大器、低通滤波器、Σ-Δ模数转换器和串行外设接口。微悬臂梁阵列与电路均在SOI晶圆单晶硅器件层上制造，并经三次微加工释放。该设计...

其他 单片集成微悬臂梁压阻生物传感器SOI CMOS

Fiber-integrated cantilever-based nanomechanical biosensors as a tool for rapid antibiotic susceptibility testing.

Biomedical optics express 2023 Zhou J, Huang J, Huang H, Zhao C 等 12 人

为抑制抗生素滥用，亟需开发快速、低成本的抗生素敏感性测试（AST）技术。本研究开发了一种基于法布里-珀罗干涉解调的新型微悬臂梁纳米机械生物传感器用于 AST。为构建该传感器，将微悬臂梁与单模光纤集成，形成法布里-珀罗干涉仪（FPI）。细菌附着于悬臂梁后，通过监测干涉光谱中谐振波长变化，检测细菌运动引起的悬臂梁波动。将该方法应用于大肠...

其他 纳米机械生物传感器微悬臂梁法布里-珀罗干涉抗生素敏感性测试