Applying the miniaturization technologies for biosensor design.

微工程与微纳制造技术为开发低样本量、集成化、自动化且成本较低的生物传感系统提供了重要途径。除电子束光刻、模板光刻、纳米压印光刻和蘸笔光刻外，基础光刻因制造简便、设备要求低且可制作亚微米级图案，被广泛用于微工程传感系统设计。本文综述了三类微工程生物传感器：基于微/纳图案化、微流控和微机电系统（MEMS）的传感器件。微/纳图案化技术可制...