Ultrasensitive Silicon Nanowire Biosensor with Modulated Threshold Voltages and Ultra-Small Diameter for Early Kidney Failure Biomarker Cystatin C.

急性肾损伤（AKI）常见且死亡率高，半胱氨酸蛋白酶抑制剂C（Cys-C）作为早期肾衰标志物可用于检测和预防急性肾损伤。本文研究基于硅纳米线场效应晶体管（SiNW FET）的生物传感器，用于Cys-C定量检测。通过间隔层图像转移（SIT）工艺和沟道掺杂优化提高灵敏度，在8英寸CMOS平台设计制造晶圆级、高可控SiNW FET，SiNW...