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Fast Fabrication of Solid-State Nanopores for DNA Molecule Analysis.

Nanomaterials (Basel, Switzerland) 2021 Zhang Y, Ma D, Gu Z, Zhan L 等 5 人

固态纳米孔是单分子分析的重要工具,但控制介电击穿(CDB)制备单孔仍存在成孔时间长、易产生多孔等问题。本研究在CDB前对SiNx膜进行空气等离子体处理,使成孔时间缩短数个数量级,并降低击穿电压;2–7 V范围内可稳定制备亚10 nm单孔,3 V双极方波可在10 min内将孔径扩至>30 nm且未形成额外孔。λ-DNA转位实验验证了孔...