Capacitive immunoaffinity biosensor based on vertically paired ring-electrodes.

本文报道了一种基于垂直配对环电极的电容免疫生物传感器，用于无标记检测抗原–抗体相互作用。该传感器在玻璃基底上依次溅射100 nm金层、热沉积550 nm聚对二甲苯-C（parylene-C）介电层、溅射50 nm金层，并旋涂SU-8保护层；随后通过SU-8显影、金刻蚀和等离子体刻蚀等步骤，在层状结构侧壁暴露出垂直配对的环电极。作者以...