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Design of a High

Sensors (Basel, Switzerland) 2023 Jannesari R, Pühringer G, Stocker G, Grille T 等 5 人

近年来,硅基片上传感研究显著增加。本文设计了一种基于平板光子晶体结构的耦合腔波导(CCW),用作无标记生物传感器。该光子晶体由三角晶格排列的空气孔构成,通过引入缺陷可构建对折射率微小变化高度敏感、仅需少量分析物即可响应的传感器件。研究采用平面波展开法(PWE)分析 CCW 模式的色散关系与场分布,并采用有限差分时间域(FDTD)方法...

Eight-channel SiNx microring-resonator based photonic biosensor for label-free fluid analysis in the optical C-band.

Annual International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology Society. IEEE Engineering in Medicine and Biology Society. Annual International Conference 2023 Reck J, Kleinert M, Mihov K, Kresse M 等 21 人

本文报道一种用于生物医学分析的芯片级多通道传感平台,基于光学氮化硅(SiNx)微环谐振器(MRR)。该光子集成芯片工作在约1550 nm 的 C 波段,采用 CMOS 兼容工艺制造,包含低限制波导、光栅耦合器、多模干涉耦合器和八个 MRR 传感通道,并配备可更换微流控腔以控制样品流动。作者通过氧等离子体、氨基硅烷和戊二醛对 MRR ...