Wafer-scale high-resolution patterning of reduced graphene oxide films for detection of low concentration biomarkers in plasma.

Scientific reports 2016 Kim J, Chae MS, Lee SM, Jeong D 等 9 人

鉴于还原氧化石墨烯（rGO）基生物传感器可在床旁实现一次性、可重复的生物标志物检测，本研究开发了一种晶圆级 rGO 高分辨率图案化方法。该方法基于传统微机电系统（MEMS）工艺，通过光刻胶牺牲层和氧气气氛反应离子刻蚀（RIE）干法刻蚀，将图案从光刻胶转移到 rGO 薄膜上，实现了从 5 μm 到数百微米尺度的多种 rGO 微图案。通...

其他 还原氧化石墨烯生物传感器淀粉样蛋白β晶圆级图案化

Wafer-scale nanowell array patterning based electrochemical impedimetric immunosensor.

Journal of biotechnology 2013 Lee J, Cho S, Lee J, Ryu H 等 11 人

我们此前报道纳米孔阵列（NWA）可通过控制捕获分子的结合位点增强分子结合事件的电化学检测；基于NWA生物传感器的安培分析可低浓度检测DNA、蛋白或适配体等生物大分子。本研究开发了一种基于晶圆级NWA的阻抗免疫传感器，用于电化学检测应激诱导磷酸化蛋白1（STIP-1）。为实现低成本、高通量纳米图案化，采用氪氟（KrF）步进半导体工艺在...

电化学生物传感器 纳米孔阵列电化学阻抗谱免疫传感器STIP-1