A Comparative Analysis of Lead-Free Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers for Powered Bio-Sensing.
为利用超低功耗逻辑与架构设计技术实现植入式生物传感器，无线超声技术因介质衰减较低且允许的安全强度较高，成为体内能量传输的有力候选。当生物传感器尺寸小于100 µm时，多数器件难以满足数字电子所需的电压和功率。本研究对文献中三种基于钪掺杂氮化铝（ScAlN）的压电微机械超声换能器（pMUT）进行数值比较，工作频率为1–10 MHz，分...