Finite Element Analysis for Surface Acoustic Wave Device Characteristic Properties and Sensitivity.

表面声波（SAW）器件的设计与优化是新型及现有SAW传感器和换能器开发中最关键的步骤。由于成本低、便携且适用于电子、通信和生物传感，SAW器件需求持续增长，但尚未建立完整的三维有限元模型来表征SAW生物传感器。本研究提出一种分析剪切水平Love波谐振器器件的新方法，并用制备器件验证。研究对三维模型和实验器件进行了全面分析，包括散射参...