Flexible SAW Microfluidic Devices as Wearable pH Sensors Based on ZnO Nanoparticles.

本文报道了一种新型柔性、生物相容的表面声波（SAW）微流控 pH 传感器。该器件以聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）为柔性基底，并在其上沉积氮化铝（AlN）作为压电材料。通过制作叉指换能器（IDT），可在活性区域激发中心频率约 500 MHz 的 Lamb 表面声波（L-SAW）。在两个 IDT 之间构建了采用氧化锌（ZnO）纳米颗粒功能...