Highly scalable, uniform, and sensitive biosensors based on top-down indium oxide nanoribbons and electronic enzyme-linked immunosorbent assay.

本文报道了一种基于顶向下制备氧化铟（In2O3）纳米带场效应晶体管（FET）的高可扩展、均匀且高灵敏生物传感器。作者采用射频（RF）溅射制备厚度10–50 nm的均匀In2O3纳米带通道，并通过两步光刻工艺完成器件制造，器件良率达100%。该平台结合电子酶联免疫吸附试验（ELISA）放大策略，利用脲酶催化尿素水解引起局部pH变化，规...