Mechanical, Corrosion and Biological Properties of Room-Temperature Sputtered Aluminum Nitride Films with Dissimilar Nanostructure.

氮化铝（AlN）长期以来被视为开发传感应用（包括生物传感器和植入式传感器）的极具吸引力的材料。凭借其优异电子性能，AlN 近来被设想作为多功能生物传感平台。尽管通常利用其本征压电性，但其表面形貌和机械性能（弹性模量、硬度、耐磨、耐划、抗剥离拉伸、对基底附着力）、耐腐蚀性和细胞相容性也是高性能可持续生物传感器器件的关键特征。然而，关于...