Polymer-based, flexible glutamate and lactate microsensors for in vivo applications.

本文报道了一种基于聚合物基底的柔性微传感器，用于多参数电化学活体监测。传感器条带尖端集成微电极阵列，可插入组织进行快速、局部在线监测。器件采用晶圆级制备工艺，以聚酰亚胺为基底，通过薄膜与层压工艺图形化铂微电极，并用环氧和干膜光刻胶绝缘，成本低且可并行加工。芯片上集成稳定的电化学沉积银/氯化银参比电极，并采用半选择性膜作为抗干扰方案。...