3D Stretchable Arch Ribbon Array Fabricated via Grayscale Lithography.

具有柔性和可拉伸特性的微结构在集成系统、可穿戴器件和生物传感器电子等领域具有巨大应用潜力，因此发展有效制备曲线和弯曲微结构的方法至关重要。尽管二维可拉伸无机结构已取得显著进展，但低成本大规模制备独特三维微结构仍具挑战。本文证明，可通过灰度光刻制备弯曲光刻胶（PR）模板，其中PR作为牺牲层形成波浪状拱形结构。利用低温等离子体增强化学气...