Gold Nanohole Array with Sub-1 nm Roughness by Annealing for Sensitivity Enhancement of Extraordinary Optical Transmission Biosensor.
纳米制造技术对表面等离子体器件性能至关重要。本文针对异常光学传输(EOT)传感器,开发双剥离工艺,在二氧化硅基底上100 nm金膜中制备孔径150–235 nm、周期500 nm的纳米孔阵列。通过600 °C氩气气氛热退火,金膜均方根粗糙度由1.89 nm降至0.87 nm,实现亚1 nm表面粗糙度,同时孔径收缩约11%–13%。以...