Self-Calibration and Performance Control of MEMS with Applications for IoT.
微机电系统（MEMS）长期存在预测性能与实际性能差距大的系统性问题。由于工艺偏差，任意两个 MEMS 器件都难以表现完全一致，通常需要工厂校准，而校准可占制造成本的四分之三，这对要求更高精度和更低成本的微传感器构成挑战。本文提出利用微尺度属性使 MEMS 在无需外部参考的情况下准确自校准，或使实际器件匹配预测性能。作者此前已验证，带...
微机电系统（MEMS）长期存在预测性能与实际性能差距大的系统性问题。由于工艺偏差，任意两个 MEMS 器件都难以表现完全一致，通常需要工厂校准，而校准可占制造成本的四分之三，这对要求更高精度和更低成本的微传感器构成挑战。本文提出利用微尺度属性使 MEMS 在无需外部参考的情况下准确自校准，或使实际器件匹配预测性能。作者此前已验证，带...