High-sensitivity optical biosensor based on cascaded Mach-Zehnder interferometer and ring resonator using Vernier effect.

本文报道了一种基于级联马赫-曾德尔干涉仪（MZI）与环形谐振器并利用Vernier效应的高灵敏度硅光子生物传感器，采用波长探测方式实现无标记检测。传感器制备在绝缘体上硅（SOI）晶圆上，传感臂与参考臂构成MZI，环形谐振器作为参考，二者级联后通过Vernier放大将MZI透射包络的波长位移进一步放大。实验测得MZI传感器和MZI-环...