A pH sensor based on electric properties of nanotubes on a glass substrate.
我们基于碳纳米管电学性质在玻璃基底上制备了pH敏感器件。通过光刻在盖玻片上形成APS溶胶-凝胶图案，将经酸/过氧化氢处理带羧基的SWCNT特异性固定于图案区，再蒸发沉积Cr/Au源漏电极，部分纳米管束连接两电极。随后在纳米管及电极上形成APS绝缘层并制作顶栅电极。空气测量中，顶栅器件呈n型FET特性；未加绝缘层时，以Ag/AgCl为...
我们基于碳纳米管电学性质在玻璃基底上制备了pH敏感器件。通过光刻在盖玻片上形成APS溶胶-凝胶图案，将经酸/过氧化氢处理带羧基的SWCNT特异性固定于图案区，再蒸发沉积Cr/Au源漏电极，部分纳米管束连接两电极。随后在纳米管及电极上形成APS绝缘层并制作顶栅电极。空气测量中，顶栅器件呈n型FET特性；未加绝缘层时，以Ag/AgCl为...