Design of a CMOS-based multichannel integrated biosensor chip for bioelectronic interface with neurons.
本文报道一种24通道混合信号全定制CMOS集成生物传感器芯片的设计与原型,用于体外细胞外记录神经信号。论文详细给出分层模块的设计与实现,包括微电极电生理传感器、模拟信号缓冲器、高增益放大器和控制/接口单元。原型芯片由MOSIS采用AMI C5 0.5 μm双多晶硅、三层金属CMOS工艺制造。芯片采用无电镀锌镀金后处理工艺,以生物相容...