Electrical biomolecule detection using nanopatterned silicon via block copolymer lithography.

利用纳米结构半导体实现电学生物传感，是无需标记、通过直接电子信号高灵敏检测生物分子的重要技术。本文报道了一种基于嵌段共聚物（BCP）纳米光刻制备的纳米图案化电学硅生物传感器。通过 BCP 自组装和单步干法刻蚀，发展了低成本、大面积的六方纳米孔薄硅膜图案化工艺。所得纳米图案化电学通道经生物素修饰后，可检测链霉亲和素和亲和素两种蛋白，检...