Micromachines
2022
Lai H, Kuo TN, Xu JY, Hsu SH 等 5 人
近年来，绝缘体上硅（SOI）衬底因高速、低功耗特性被用于电子器件。硅线波导具有高折射率对比度，可显著缩小光子器件尺寸，且硅光子工艺与互补金属氧化物半导体（CMOS）制造兼容，有利于高密度光电集成电路发展。研究者近期提出利用微环谐振器（MRR）进行无标记生物传感。环内显著电场增强带来高品质因子，使 MRR 成为低分析物浓度条件下生物分...
Micromachines
2020
Yang CJ, Yan H, Tang N, Zou Y 等 8 人
本文报道了一种基于硅基光子晶体（PC）微腔的超灵敏生物传感器，用于胰腺癌患者血浆蛋白检测。作者采用193 nm紫外光刻和CMOS兼容工艺制备缺陷工程L13光子晶体微腔，并比较了不同品质因子Q和分析物填充分数fB对生物标志物检测灵敏度的影响。实验分别使用无纳米孔的常规L13微腔和引入纳米孔的高灵敏度L13微腔，在胰腺癌患者血浆样品中无...
Biosensors & bioelectronics
2013
Kirk JT, Brault ND, Baehr-Jones T, Hochberg M 等 6 人
个性化医学的一个广泛认可目标，是大幅降低高并行、小流体体积、即时检测和家庭诊断的成本。近年来，利用互补金属氧化物半导体（CMOS）兼容硅光子电路进行生物传感受到广泛关注，其有望以极低的单芯片成本制造包含数千个正交传感器的芯片级集成器件。生物传感器转化的核心挑战，是在未处理生物流体中实现对目标分析物既敏感又特异的检测。尽管硅光子生物传...