Silicon-nanowire-based CMOS-compatible field-effect transistor nanosensors for ultrasensitive electrical detection of nucleic acids.
本文报道了一种新型半导体硅纳米线场效应晶体管(SiNW-FET)生物传感器阵列,用于核酸的超灵敏、无标记和实时电学检测。作者采用与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容的各向异性自停止湿法刻蚀技术,自上而下制备出尺寸均一、高长径比的单晶硅纳米线阵列。硅纳米线具有三角形截面,宽度可控制在20–200 nm,表面具有较高比表面积,并可...