Numerical framework for simulating bio-species transport in microfluidic channels with application to antibody biosensors.

本文报道了在6H-SiC晶圆上采用碳化物衍生碳（CDC）工艺并结合后续化学气相沉积（CVD）制备双层碳膜的方法。该双层膜由CDC子层和CVD顶层组成，分别通过SiC的高温氯化以及CCl4的高温热解形成。拉曼光谱表明，CDC层和CVD层均以非晶碳为主，并呈现类似的D带与G带分散效应；其中CVD层的D带位置约1354 cm−1，高于CD...