Micro and Nano Interdigitated Electrode Array (IDEA)-Based MEMS/NEMS as Electrochemical Transducers: A Review.

微纳互指电极阵列（µ/n-IDEA）构型是电化学传感器/生物传感器中突出的工作电极，其设计有利于传感器性能提升。本文综述了以碳或金属为起始材料、用于四电极电化学传感器的二维（2D）平面IDEA和三维（3D）IDEA构型。IDEA基生物传感器的增强重点在于控制相邻指条之间的宽度和间隙，并增加IDEA高度。文章展示并讨论了多种扩大3D ...