Multiplex electrical detection of avian influenza and human immunodeficiency virus with an underlap-embedded silicon nanowire field-effect transistor.

本文报道了一种基于欠叠嵌入式硅纳米线场效应晶体管（underlap-embedded SiNW-FET）的无标记电学生物传感器，用于检测禽流感（AI）和人类免疫缺陷病毒（HIV）的抗原–抗体结合。器件在体硅晶圆上通过自上而下工艺制备：采用各向同性与各向异性刻蚀结合形成硅纳米线，并通过自对准双栅和倾斜离子注入精确控制欠叠区域。传感信号...