Optical biosensor based on hollow integrated waveguides.
本文报道了首个基于纯硅空心集成波导的吸收生物传感器。以辣根过氧化物酶（HRP）为模型识别元件，制备并数值模拟、实验表征了用于检测过氧化氢（H2O2）的酶传感器。波导宽度为50–80 µm、深度为50 µm、长度可达5 mm，仅通过一次光刻步骤和深反应离子刻蚀（DRIE）即可制备。随后采用硅烷化化学将HRP共价固定于波导内壁。模拟结果...
本文报道了首个基于纯硅空心集成波导的吸收生物传感器。以辣根过氧化物酶（HRP）为模型识别元件，制备并数值模拟、实验表征了用于检测过氧化氢（H2O2）的酶传感器。波导宽度为50–80 µm、深度为50 µm、长度可达5 mm，仅通过一次光刻步骤和深反应离子刻蚀（DRIE）即可制备。随后采用硅烷化化学将HRP共价固定于波导内壁。模拟结果...