Plasmonic waveguide ring resonators with 4 nm air gap and λ0(2)/15,000 mode-area fabricated using photolithography.

本文报道了仅采用光刻、选择性刻蚀和定向溅射制备的等离子体空气隙圆盘谐振器。器件直径为3.5 μm，具有4 nm厚、40 nm宽的环形空气隙，交叉模式面积仅为λ0^2/15000，并有望进一步降至约λ0^2/40000。谐振器基于SiNx/SiO2/SiNx多层结构，通过锥形光纤耦合在1280–1620 nm波长范围内清晰识别出反对称...