Label-free detection of rheumatoid factor using YbYxOy electrolyte-insulator-semiconductor devices.

本研究考察了钇含量对YbYxOy传感膜结构特性及电解质-绝缘体-半导体（EIS）传感器传感特性的影响，用于检测类风湿因子（RF）。在60 W等离子体条件下制备的YbYxOy EIS器件表现出更高的pH灵敏度65.77 mV/pH、更低的滞后电压约1 mV和更小的漂移率0.14 mV/h，归因于YbYxOy膜中最佳钇含量形成光滑表面。...