Optofluidic Particle Manipulation Platform with Nanomembrane.
本文报道了一种在硅芯片上制备并利用光流控粒子操纵平台的方法。该平台在微流道中集成了一层300 nm厚的二氧化硅纳米膜。制备过程首先刻蚀硅微流道,并通过热氧化将硅侧壁转化为二氧化硅;随后利用毛细作用使牺牲性光聚合物SU-8 2000.5自发填充通道并形成弯月面,再以该聚合物为模板通过等离子体增强化学气相沉积生长二氧化硅膜,最后去除牺牲...
本文报道了一种在硅芯片上制备并利用光流控粒子操纵平台的方法。该平台在微流道中集成了一层300 nm厚的二氧化硅纳米膜。制备过程首先刻蚀硅微流道,并通过热氧化将硅侧壁转化为二氧化硅;随后利用毛细作用使牺牲性光聚合物SU-8 2000.5自发填充通道并形成弯月面,再以该聚合物为模板通过等离子体增强化学气相沉积生长二氧化硅膜,最后去除牺牲...
本文报道了一种利用新型平面微电极在高电导率介质中实现负介电泳(negative DEP)颗粒捕获的方法。该电极由互指正负电极和重复方形块图案构成,可在预定区域形成局部电场极小值,并允许电致热效应增强 DEP 捕获。作者结合标度分析、数值模拟和实验研究了 DEP 力与电致热流运动。结果表明,电致热流产生的横向输运可将颗粒持续带向捕获区...