1 条结果 关键词:紫外光刻 ×

Post-Polymerization Modification of Fluoropolymers via UV Irradiation in the Presence of a Photoacid Generator.

Polymers 2023 Nika A, Gkioka C, Machairioti F, Bilalis P 等 9 人

氟聚合物具有独特的润湿性和蛋白质吸附特性,对其表面性质进行位点特异性调控可拓展其在生物传感与组织工程等领域的应用。本研究通过自由基聚合合成了含4-乙烯基苄基缩水甘油醚(VBGE)的氟化均聚物及两种共聚物,并在聚合物溶液中加入光致酸生成剂(PAG)配制抗蚀剂。将抗蚀剂旋涂于硅片上,经二元掩模紫外曝光并加热后形成图案。结果表明,除五氟苯...