All-nanophotonic NEMS biosensor on a chip.

集成化化学与生物传感器在降低成本、减小体积和重量方面具有优势，并为并行监测与分析提供新途径。基于纳米机电系统（NEMS）的生物传感器因紧凑、高灵敏和可单分子检测而成为集成平台的重要候选，但静电、磁动、热或压电等驱动与换能方式通常限制其只能在实验室条件使用。全光学方案可克服上述问题，但现有结构往往宏观或过于复杂昂贵。本文提出一种极紧凑...